光切斷法自動(dòng)對(duì)焦高度測(cè)量顯微鏡

光切斷法自動(dòng)對(duì)焦高度測(cè)量顯微鏡

是日本日商精密光學(xué)株式會(huì)社推出的新型高精度測(cè)量設(shè)備，融合光切斷 slit 成像與 spot 光成像技術(shù)，搭載自動(dòng)對(duì)焦 AF 追蹤系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)非接觸式、高精度的深度、高度、臺(tái)階測(cè)量，為精密加工件檢測(cè)提供高效解決方案。

設(shè)備通過(guò)連續(xù)追蹤 AF 驅(qū)動(dòng)，可重復(fù)進(jìn)行高精度測(cè)量，操作簡(jiǎn)便快速。利用狹縫成像實(shí)時(shí)識(shí)別測(cè)量畫(huà)面高低，輕松定位測(cè)量部位；通過(guò)校驗(yàn)狹縫像、斑點(diǎn)光像、電子基準(zhǔn)線的中心一致性，有效防止誤測(cè)，保障數(shù)據(jù)可靠性。光切斷仰角除標(biāo)準(zhǔn) 90° 外，還可根據(jù)用途選擇 30°、60°、120°，適配不同檢測(cè)場(chǎng)景。

儀器采用 0.1μm 數(shù)字線性標(biāo)尺讀數(shù)，±1μm 以?xún)?nèi)的重復(fù)精度，可精準(zhǔn)測(cè)量機(jī)械加工部件、成型品、薄膜、基板等的表面粗糙度、搭載部件高度位置、沖壓件、模具等精密加工品，也可完成傳統(tǒng)鹵素光源顯微鏡無(wú)法測(cè)量的試樣檢測(cè)。支持自動(dòng) / 手動(dòng)雙模式切換，自動(dòng)模式下 XY 軸移動(dòng)臺(tái)可快速批量測(cè)量，手動(dòng)模式可作為微米級(jí)深度高度測(cè)量?jī)x使用。