是日本若井田科學(xué)推出的智能型寬量程真空測(cè)量設(shè)備,專(zhuān)為半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、自動(dòng)化真空生產(chǎn)線(xiàn)等高真空工藝場(chǎng)景設(shè)計(jì),為寬范圍真空段的智能、安全、穩(wěn)定監(jiān)測(cè)提供專(zhuān)業(yè)解決方案。
設(shè)備采用皮拉尼真空計(jì)與電離真空計(jì)聯(lián)動(dòng)的設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn) 4.9×10?1~1.0×10?? Pa 的全量程自動(dòng)切換測(cè)量,無(wú)需手動(dòng)調(diào)節(jié)即可覆蓋中真空到超高真空的寬范圍,適配不同真空工藝的測(cè)量需求。其核心優(yōu)勢(shì)在于內(nèi)置的電離真空計(jì)保護(hù)回路,即使在大氣壓下開(kāi)啟設(shè)備,也不會(huì)燒斷電離真空計(jì)測(cè)量球的燈絲,大幅提升設(shè)備的安全性與使用壽命,降低維護(hù)成本。
設(shè)備配備數(shù)字顯示界面,可清晰顯示真空壓力值,支持以 Pa 為單位的讀數(shù)顯示,直觀易懂。同時(shí)搭載豐富的控制功能,可通過(guò)數(shù)字開(kāi)關(guān)設(shè)定任意 2 點(diǎn)外部接點(diǎn),同時(shí)提供燈絲遠(yuǎn)程 ON/OFF 控制、燈絲斷線(xiàn)信號(hào)、壓力值 BCD 輸出、各量程 5V 模擬輸出等多種信號(hào),可直接接入自動(dòng)化裝置,實(shí)現(xiàn)真空系統(tǒng)的遠(yuǎn)程監(jiān)控、過(guò)程聯(lián)動(dòng)與故障保護(hù),適配自動(dòng)化真空生產(chǎn)線(xiàn)的工藝控制需求。設(shè)備還提供無(wú)繼電器接點(diǎn)的標(biāo)準(zhǔn)型號(hào) WVG-8800DM、WVG-800DS,可根據(jù)不同應(yīng)用場(chǎng)景靈活選擇。
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